Jenoptik stellt jetzt die mikrooptischen Homogenisierer CaF2 vor, die
in einem weiterentwickelten technologischen Fertigungsverfahren
hergestellt werden. Dies bedient die Nachfrage nach kundenspezifischer
Mikrooptik mit freien Geometrien und hoher Genauigkeit.
Homogenisierer, wie beispielsweise Mikrolinsen-Arrays und Diffraktive
Optische Elemente (DOE), werden in optischen Systemen von
Fertigungsausrüstungen für Halbleiter und Flat Panel Displays
eingesetzt (z. B. Wafer-, Masken- und Panel-Inspektionssysteme,
Lithografieanlagen zur hochgenauen Erzeugung kleiner Strukturen).
Homogenisierer spielen eine hervorragende Rolle in den
Beleuchtungssystemen und dienen der definierten Verteilung des Lichtes
über einen festgelegten Bereich in einer bestimmten Ebene des
Strahlenganges. Die hierfür eingesetzten optischen Bauelemente
müssen dauerhaft hohe Lebensdauer und eine optimale Transmission
der kurzwelligen Laserstrahlung gewährleisten. CaF2 bietet im
Vergleich mit anderen optischen Materialien eine höhere
Zerstörschwelle und damit eine bessere Langzeitstabilität der
optischen Eigenschaften.
Jenoptik zeigt mit verschiedenen CaF2 Homogenisierer-Anordnungen die
flexiblen Fertigungsmöglichkeiten mikrooptischer Strukturen in
CaF2 insbesondere für Wellenlängen im Bereich von 193-266
Nanometern. Mit einem fortschrittlichen Mikrostrukturierungsprozess in
der Kombination von Grautontechnologie und einem hochentwickelten
wafer-basierten Ätzprozess können kundenspezifische
refraktive, diffraktive und hybride Strukturen auch mit asymmetrischen
Formen und Krümmungen realisiert werden. Der Vorteil dieser
Methode liegt vor allem in der Erzeugung freier Geometrien sowie in der
Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Mikrostrukturierungsprozesse in
CaF2. Dies ermöglicht vielfältige Strahlverteilungsmuster und
eröffnet somit neue Möglichkeiten bei der Optimierung der
Systemperformance in Halbleiterfertigungsausrüstungen.
Darüber hinaus stehen Standardfertigungsprozesse für
verschiedene optische Materialien, wie SiO2, GaAs, GaP Al2O3, ZnS,
ZnSe, Ge, Chalkogenidglas (IG6) etc. zur Verfügung. Qualifizierte
Tests bei der jeweiligen Einsatzwellenlänge sichern die
Qualität der optischen Produkteigenschaften.
Durch Investition in eine moderne Fertigungsumgebung und speziell
geschulte Fachleute unterstützt Jenoptik als Entwicklungs- und
Produktionspartner den gesamten Prozess - von der Designphase und
Prototypenfertigung bis hin zur Serienfertigung.
Weitere Informationen unter
www.jenoptik.com/
