Coherent hat seine in der Industrie vielfach eingesetzte Familie der
AVIA(TM) -Laser für die Mikromaterialbearbeitung um ein neues
Modell erweitert, welches bei seiner Wellenlänge und
Repetitionsrate die höchste, kommerziell erhältliche Leistung
bietet. So liefert der neue AVIA 355-28 bei 355 nm (110 kHz) eine
Leistung von 28 Watt. Diese enorme Leistung bei gleichzeitig hoher
Repetitionsrate führt bei zahlreichen Applikationen in der
Mikromaterialbearbeitung automatisch sowohl zu einem erhöhten
Durchsatz als auch zu niedrigeren Stückkosten.
Zusätzlich zu der erhöhten Leistung bietet der AVIA 355-28
noch einige Eigenschaften mehr, um seinen Einsatz im Produktionsprozess
zu optimieren, und die langfristigen Betriebskosten zu senken. Diese
beinhalten den PosiLock(TM) , eine eigene Technologie von Coherent, die
gewährleistet, dass der Laser-Spot so genau wie möglich auf
einem Punkt der Arbeitsoberfläche bleibt, den PulseEQ(TM) , der
dafür sorgt, dass die Pulsenergie über einen weiten Bereich
von rasch variierenden Pulsrepetitionsraten konstant bleibt, und eine
automatisierte Verdreifacherkristall-Verschiebeeinheit, um die
Strahlleistung über die gesamte Lebensdauer des Lasers konstant zu
halten.
Der AVIA 355-28 wurde für einen weiten Bereich von anspruchsvollen
Applikationen mit hohem Durchsatz in der Mikromaterialbearbeitung der
Halbleiter-Fabrikation und -Konfektionierung und der
Solarzellenproduktion entwickelt. Typische Beispiele sind das "Dicing"
und Markieren von Siliziumscheiben und "low-k"-Halbleitern, das
Löcherbohren in Leiterplatten und "Flip-Chips", und die
Mikromaterialbearbeitung medizinischer Einwegartikel.