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PRODUKTINNOVATION
Coherent - Mikromaterialbearbeitung
Neue Hochleistungs-UV-Laser für die Mikromaterialbearbeitung

Coherent hat seine in der Industrie vielfach eingesetzte Familie der AVIA(TM) -Laser für die Mikromaterialbearbeitung um ein neues Modell erweitert, welches bei seiner Wellenlänge und Repetitionsrate die höchste, kommerziell erhältliche Leistung bietet. So liefert der neue AVIA 355-28 bei 355 nm (110 kHz) eine Leistung von 28 Watt. Diese enorme Leistung bei gleichzeitig hoher Repetitionsrate führt bei zahlreichen Applikationen in der Mikromaterialbearbeitung automatisch sowohl zu einem erhöhten Durchsatz als auch zu niedrigeren Stückkosten.

Zusätzlich zu der erhöhten Leistung bietet der AVIA 355-28 noch einige Eigenschaften mehr, um seinen Einsatz im Produktionsprozess zu optimieren, und die langfristigen Betriebskosten zu senken. Diese beinhalten den PosiLock(TM) , eine eigene Technologie von Coherent, die gewährleistet, dass der Laser-Spot so genau wie möglich auf einem Punkt der Arbeitsoberfläche bleibt, den PulseEQ(TM) , der dafür sorgt, dass die Pulsenergie über einen weiten Bereich von rasch variierenden Pulsrepetitionsraten konstant bleibt, und eine automatisierte Verdreifacherkristall-Verschiebeeinheit, um die Strahlleistung über die gesamte Lebensdauer des Lasers konstant zu halten.

Der AVIA 355-28 wurde für einen weiten Bereich von anspruchsvollen Applikationen mit hohem Durchsatz in der Mikromaterialbearbeitung der Halbleiter-Fabrikation und -Konfektionierung und der Solarzellenproduktion entwickelt. Typische Beispiele sind das "Dicing" und Markieren von Siliziumscheiben und "low-k"-Halbleitern, das Löcherbohren in Leiterplatten und "Flip-Chips", und die Mikromaterialbearbeitung medizinischer Einwegartikel.


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